真空计(Vacuum Gauge),又称规,是测量真空度或气压的
仪器。一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量。
1、用电离计检漏时,示漏物质应选用电离效果与残余气体有可能大差异者,电离效果包括电离率及电离电位两者的综合结果,一般用氢,氦,二氧化碳等。
2、用热真空计检漏时,示漏物质可用氢,二氧化碳,丙酮。乙醚。酒精等。一般说来,用气体喷吹用液体覆盖为好,因为液体往往会堵塞漏孔,还会污染真空系统或器件,热真空计因为惯性大,反应慢,检漏时巡喷速度不宜过快,并仔细观察,认真判别是系统的压强波动,仪器的漂移或是真正存在漏孔。只有示漏物质离开后,仪器指示恢复原状的,才是真正的漏孔。热真空计检漏,要在它的测量范围的真空度下,才能有效,即只适用于10
-1——10
-3托的真空度范围。它哪呢过检出*小漏孔为1*10
-5托升/秒。
电离计的反应热真空计快,但因示漏气体在真空系统中建立足够分压需要较长时间,故巡喷速度亦不能太快。电离计能检漏的压力范围,大致同于其测量范围,故各种类型电离计各有其检漏的压力范围。电离计能检的*小可检漏孔约为1*10
-6——1*10
-7托升/秒。
在真空计检漏中,即使示漏气体对着漏孔喷吹。或者示漏液体涂于漏孔,实际上都不可避免要夹带有空气进去,即示漏物质并没有彻底取代空气。带进去的空气一方面冲淡了示漏物质的作用,另一方面还会引起不必要的读数波动,因为混进的空气分量时大时小。
【仪器网使用手册】真空计是用来测量真空度或气压的仪器,通常是利用不同气压下气体某种物理效应的变化而进行气压的测量,在科研和工业生产中有非常广泛的使用。按照真空计测量试验方法的不同,可将真空计分为力学性能、气体动力学和带电粒子效应三种。
在真空计使用过程中也有一些需要注意的事项,否则会损坏仪器或者造成测量不准确。
1、运输及使用时必须严防倒置平卧,以防水银倒回真空像皮管内堵塞毛细管影响测量精度。
2、在测量时真空表为直立状态,严禁将任何气体强烈地冲入真空系统以免击碎玻璃管。
3、真空计内工作汞已经经过理化方法处理,所以有一定的清洁性。若长期使用导致水银氧化污染而影响测量精度,应及时联系厂家修理。
4、测量结束后,应用夹子将真空橡皮管夹紧使用之与真空系统气体隔离。这样能保持真空计内水银清洁,也能避免真空计被取下分离时大气冲击真空计使其破碎。
5、如果没有将真空计取下,应在机械真空泵停止后将机械泵与真空系统气路断开,并将机械泵内放入大气以免机械泵油返入真空系统及真空计受到油的污染。
6、横卧过程中可能出现水银珠位于玻璃容器入口处,可将压力计稍微倒转收回水银珠。
7、运输和使用不慎会导致水银珠进入并粘附于中间玻璃毛细管,可用机械真空泵对真空计抽气并往复摆动真空计,使水银珠回流。
8、真空计使用完毕应将橡皮管扎紧,先关闭真空阀再关闭真空泵,以防真空泵内的油进入真空计和真空系统。
9、要保持水银的纯度,水银受污染会影响测量的精度。
10、真空计短期内不使用,可用铁扎头扎紧橡皮管,用纱布拭去橡皮管的油脂,再用塞头堵塞内经,置于干燥、通风、避光处保存。
真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,种类很多,这里介绍的复合真空计是常见的一种,复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。
温差电偶真空计的试验方法
温差电偶真空规管由玻璃制成,通过小管8和真空系统相接,在规管内的两根引线上装有热丝3,另外两根引线上焊着一对温差电偶4,温差电偶的另一端与热丝在A点焊接。
由于在低压下,气体的热传导系数与压强成正比,所以在通过热丝的电流( 90~150 mA)一定的条件下,热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高,温差电偶电动势也随之而增大。因此,通过测量温差电偶电动势,可以确定出被测系统的真空度,温差电偶真空计则是根据这个试验方法制成的。温差电偶真空计的电离真空计的测量范围1~5×10-2 Pa。
热阴极电离真空计的试验方法
电离真空规管是一只三极管,通过B管与真空系统相接,使用时,在灯丝电路中通以电流5mA,灯丝受热后便发射电子,由于栅极为正电压,使电子加速,中途与气体分子相碰,气体的密度越大,碰撞机会越大,产生的正离子也越多。另外,由于板极电压为负,便吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip,气体分子密度越大( 即压强越大),板极电流也越大,反之越小。