真空计如何分类真空计的分类方式详解,真空计性能特点

　　真空计是一种常用的测量仪器，一般是利用不同气压下气体的某种物理效应的变化进行气压的测量，产品被广泛用于多个领域中。真空计的产品种类众多，用户应该如何分类呢?下面小编就来具体介绍一下真空计的分类方法，希望可以帮助到大家。
　　按真空度刻度方法分类
　　(1)真空计：直接读取气体压力，其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计算出来或由测力确定。真空计对所有气体都是准确的且与气体种类无关，属于真空计的有U型镑压力计、压缩式真空计和热辐射真空计等。
　　(2)相对真空计：由一些气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单的计算进刻度，必须进行校准才能刻度。相对真空计一般由作为传感器的真空计规管(或规头)和用于控制、指示的测量器组成。读数与气体种类有关。相对真空计的种类很多，如热传导真空计和电离真空计等。
　　按真空计测量试验方法分类
　　直接测量真空计
　　这种真空计直接测量单位面积上的力，有：
　　(1)静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力。
　　(2)弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。
　　间接测量真空计
　　压力为10-1Pa时，作用在1cm2表面上力只有10-5N，显然测量这样小的力是困难的。但可根据低压下与气体压力有关的物理量的变化来间接测量压力的变化。属于这类的真空计有：
　　(1)压缩式真空计：其试验方法是在U型管的基础上再应用波义耳定律，即将一定量待测压力的气体，经过等温压缩使之压力增加，以便用U型管真空计测量，然后用体积和压力的关系计算被测压力。
　　(2)热传导真空计：利用低压下气体热传导与压力有关这一试验方法制成。常用的有电阻真空计和热偶真空计。
　　(3)热辐射真空计：利用低压下气体热辐射与压力有关试验方法。
　　(4)电离真空计：利用低压下气体分子被荷能粒子碰撞电离，产生的离子流随电力变化的试验方法。如：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放射性电离真空计等。
　　(5)放电管指示器：利用气体放电情况和放电颜色与压力有关的性质判定真空度，一般仅能作为定性测量。
　　(6)粘滞真空计：利用低压下气体与容器壁的动量交换即外摩擦试验方法。如振膜式真空计和磁悬浮转子真空计。
　　(7)场致显微仪：以吸附和解吸时间与压力关系计算压力。
　　(8)分压力真空计：利用质谱技术进行混合气体分压力测量。常用的有四极质谱计、回旋质谱计和射频质谱 电阻真空计的试验方法介绍

　　电阻真空计即采用电阻技术的真空计，一般先校准零点，再进行满度校准。

　　试验方法

　　金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。

　　通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。

　　单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立

　　Q=I2R=Qg+Qr+Qs(1)

　　Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。

　　气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为

　　Qg=αΛπda(T-T0)p(2)

　　T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。剩下的Qs和Qr可以分别表示如下

　　Qs=Sκ(T-T0)/L(3)

　　Qr=πdaσε(T4-T04)(4)

　　(3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,L是电极的长度。

　　(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为

　　I2R=Ap+I02R(5)

　　A=αΛπda(T-T0)(6)

　　I0是压力为0的时候细线的电流,是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。A式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。

　　校准

　　一般先校准零点，再进行满度校准。

　　(1)校准零点。

　　校准零点需对被测真空系统抽真空，一旦电离规测得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9X10^-2Pa)，按"校零"按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正零点，当显示1.0^-1Pa时，表示规管零点已校准。

　　对于无自动零点校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。

　　(2)满度校正。

　　校准完零点后，需对其满度校正。按满度校正过程要求，对被测炉腔放人大气，确保被校电阻规所测位置为大气状态，在大气压下工作约10分钟。

　　按"满度"按钮，对应指示灯亮或快速闪烁，真空计自动校正满度，当显示1.0^5Pa时，表示规管满度已校准。对于无自动满度校准的电阻真空计，可通过操作面板上的电位器旋钮手动调整。